半導(dǎo)體専用油靜圧超精密ウェーハ研削盤

GTR-1215

設(shè)備の特徴

  • 2023年Taiwan Excellenceを受賞
  • 研削過(guò)程中にウェーハは破損を防止するため、研削負(fù)荷の監(jiān)視機(jī)能付きます。
  • 真空チャックの大きさはお客様の要望により、製造します。
  • 正しい厚さを確保するため、ウェーハの厚さを監(jiān)視して、自動(dòng)補(bǔ)正します。
  • 300mmのSiウェーハの厚さ<100μm、TTV<2μm, Ra 0.01μmを?qū)g現(xiàn)します。
  • 高硬度平面材料に広く使用されて、短時(shí)間で薄くて平の効果を到達(dá)します。
  • 御影石臺(tái)座のオプションがあります。

製品仕様表

タイプ Unit GTR-1215
スピンドル
スピンドル タイプ Hydrostatic
油靜圧スピンドル回転精度 (run-out) mm <0.001
油靜圧スピンドルの最大回転速度 rpm 0~3000
砥石寸法（直徑） mm ?304
テーブル
テーブル タイプ Hydrostatic
テーブル回転精度(run-out) mm 0.001
テーブル回転速度 rpm 5~300
テーブル最大荷重 kg 500
チャック（直徑） mm 4"~12"
テーブル（直徑） mm 12"
自動(dòng)ドレッサーシステム
ドレッサー寸法 mm ?150x?90x20T
最小送る量 sec. 0.1μm
設(shè)備寸法
NET / 総重量 kg 2800/3200
設(shè)備寸法（長(zhǎng)さ x 幅 x 高さ） mm 1872x1215x2380

研削応用

total Solution

Products