全鑫GTR-1215 助攻SiC製程
面對(duì)全球政經(jīng)局勢(shì)震盪與產(chǎn)業(yè)環(huán)境快速變化，臺(tái)灣工具機(jī)產(chǎn)業(yè)正積極轉(zhuǎn)型，瞄準(zhǔn)高階市場(chǎng)供應(yīng)鏈以強(qiáng)化國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。全鑫精密自2019年起深入半導(dǎo)體領(lǐng)域，產(chǎn)品線涵蓋液靜壓外圓磨床、液靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)平面磨床等，皆有半導(dǎo)體客戶實(shí)績(jī)。
全鑫精密於TIMTOS 2025臺(tái)北國(guó)際工具機(jī)展推出新一代研發(fā)的液靜壓立式晶圓研磨機(jī)GTR-1215，憑藉其創(chuàng)新研發(fā)設(shè)計(jì)與多項(xiàng)專利技術(shù)，獲2025年第17屆工具機(jī)「研究發(fā)展創(chuàng)新產(chǎn)品」競(jìng)賽優(yōu)等獎(jiǎng)。
全鑫精密業(yè)務(wù)副總蔡靜儀表示，此次得獎(jiǎng)，不僅是對(duì)GTR-1215技術(shù)創(chuàng)新的肯定，更是推動(dòng)臺(tái)灣工具機(jī)產(chǎn)業(yè)向高附加價(jià)值與智能製造邁進(jìn)的重要里程碑。未來將持續(xù)深化半導(dǎo)體製程設(shè)備的技術(shù)研發(fā)，並透過產(chǎn)業(yè)整合與智能製造方案，加速第三代半導(dǎo)體材料商業(yè)化應(yīng)用，助力臺(tái)灣工具機(jī)產(chǎn)業(yè)在全球高階市場(chǎng)占有一席之地。
GTR-1215專為半導(dǎo)體晶圓製造與先進(jìn)封裝市場(chǎng)打造，尤其針對(duì)第三代半導(dǎo)體材料碳化矽（SiC）晶圓的薄化研磨技術(shù)，提供突破性的解決方案。SiC因具備耐高壓、高溫與高頻特性，是電動(dòng)車、軌道運(yùn)輸、再生能源、資料中心、5G基地臺(tái)等高功率元件的重要材料。由於SiC材質(zhì)堅(jiān)硬且脆，加工時(shí)極易破裂，且現(xiàn)有薄化製程效率不彰，導(dǎo)致生產(chǎn)成本高昂，已成為產(chǎn)業(yè)界的一大挑戰(zhàn)；GTR-1215採(cǎi)用自主研發(fā)「液靜壓軸承技術(shù)」，有效克服硬脆材料在研磨過程中常見的震動(dòng)、溫升及加工不穩(wěn)定問題，顯著提升晶圓減薄製程的精度與良率。
全鑫精密著手開發(fā)「超音波雙主軸全液靜壓 AI 自動(dòng)化連續(xù)雙站式研磨設(shè)備」，將傳統(tǒng)單站式研磨升級(jí)為可同時(shí)執(zhí)行粗研磨與精研磨的雙站式作業(yè)，大幅縮短加工時(shí)間並提升製程良率。
資料來源：
經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)
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