全鑫GTR-1215 助攻SiC制程

獲工具機研究發(fā)展創(chuàng)新產(chǎn)品優(yōu)等獎 提升晶圓減薄精度與良率

面對全球政經(jīng)局勢震蕩與產(chǎn)業(yè)環(huán)境快速變化，臺灣工具機產(chǎn)業(yè)正積極轉型，瞄準高階市場供應鏈以強化國際競爭力。全鑫精密自2019年起深入半導體領域，產(chǎn)品線涵蓋液靜壓外圓磨床、液靜壓轉臺平面磨床等，皆有半導體客戶實績。

全鑫精密于TIMTOS 2025臺北國際工具機展推出新一代研發(fā)的液靜壓立式晶圓研磨機GTR-1215，憑借其創(chuàng)新研發(fā)設計與多項專利技術，獲2025年第17屆工具機「研究發(fā)展創(chuàng)新產(chǎn)品」競賽優(yōu)等獎。

全鑫精密業(yè)務副總蔡靜儀表示，此次得獎，不僅是對GTR-1215技術創(chuàng)新的肯定，更是推動臺灣工具機產(chǎn)業(yè)向高附加價值與智能制造邁進的重要里程碑。

未來將持續(xù)深化半導體制程設備的技術研發(fā)，并透過產(chǎn)業(yè)整合與智能制造方案，加速第三代半導體材料商業(yè)化應用，助力臺灣工具機產(chǎn)業(yè)在全球高階市場占有一席之地。

GTR-1215專為半導體晶圓制造與先進封裝市場打造，尤其針對第三代半導體材料碳化硅（SiC）晶圓的薄化研磨技術，提供突破性的解決方案。SiC因具備耐高壓、高溫與高頻特性，是電動車、軌道運輸、再生能源、數(shù)據(jù)中心、5G基地臺等高功率組件的重要材料。

于SiC材質(zhì)堅硬且脆，加工時極易破裂，且現(xiàn)有薄化制程效率不彰，導致生產(chǎn)成本高昂，已成為產(chǎn)業(yè)界的一大挑戰(zhàn)；GTR-1215采用自主研發(fā)「液靜壓軸承技術」，有效克服硬脆材料在研磨過程中常見的震動、溫升及加工不穩(wěn)定問題，顯著提升晶圓減薄制程的精度與良率。

全鑫精密著手開發(fā)「超音波雙主軸全液靜壓 AI 自動化連續(xù)雙站式研磨設備」，將傳統(tǒng)單站式研磨升級為可同時執(zhí)行粗研磨與精研磨的雙站式作業(yè)，大幅縮短加工時間并提升制程良率。

全鑫精密 全新的磨床視野

全鑫精密工業(yè)公司(Grintimate)經(jīng)營理念為，提供「高精度、高品質(zhì)、低耗損、綠環(huán)?！沟木芗庸C，協(xié)助客戶提高效率與品質(zhì)及提升市場競爭力，創(chuàng)造產(chǎn)品獨特性價值與高效率，提供業(yè)界最佳解決方案，是全鑫精密專注研發(fā)創(chuàng)新的最高宗旨。

全鑫精密工業(yè)公司(Grintimate)以獨有的液靜壓技術，針對高效率與高精度汽車工業(yè)研發(fā)推出亞洲唯一「液靜壓寬砂輪外圓專用磨床」CTS與CDC系列，能大幅提升3倍以上加工效率，更有效節(jié)省人力，是產(chǎn)業(yè)研磨的最佳利器。

全鑫精密工業(yè)公司副總經(jīng)理蔡靜儀表示，該機采用液靜壓軸承主軸具高剛性、無振動及無磨耗特色，將承載砂輪尺寸提升至300mm寬，全鑫以人為本，研發(fā)出簡易操作的圖形對話式人機介面，方便操作人員可直接用數(shù)字輸入完成15段內(nèi)不同階差的成型研磨，以減低客戶研磨人才需求的成本。

成型研磨是指將砂輪修整成符合工件欲研磨的形狀，進行一次性地進刀研磨，加工時，能節(jié)省更換機臺上下料的時間及更換機臺所導致的精度誤差，有效提升研磨效率。

為達成高精度研磨，透過獨家專利液靜壓技術，采用X軸液靜壓滑軌，提高軌道使用壽命，無摩擦不會產(chǎn)生stick-slip，并可確保成型修砂的尺寸穩(wěn)定度及提升高效率與高精度的表現(xiàn)。運用先進液靜壓潤滑／冷卻系統(tǒng)和流量控制器保持磨削品質(zhì)，穩(wěn)定壓力，搭載標配的海德漢全閉回路光學尺，確保進給精確性和定位精度，加上主軸高阻尼特性，可吸收磨削動能，進而保證高精密度的磨削表現(xiàn)。

該機采用雙端面驅動頂針，可結合機器手臂運作，在量產(chǎn)環(huán)境下只要45秒，即可完成工件加工研磨，除真圓度與圓筒度可維持在2μm內(nèi)，效率大幅提升。全鑫精密機臺皆已模組化，并搭配高規(guī)格配件，可滿足客戶對產(chǎn)品精密度的要求。

蔡靜儀說，全鑫精密是高精密磨床領先設計者和專業(yè)制造廠，擁有液靜壓軸承技術，獨家開發(fā)的液靜壓軸承主軸、靜壓旋轉工作臺及靜壓滑軌模組，全鑫更致力于提供產(chǎn)業(yè)最佳液靜壓磨削及最完善次微米加工方案，制造出歐洲品質(zhì)臺灣價格的高精密磨床，提供客戶更全面、更完整的turn-key解決方案，及完善的定期保養(yǎng)和維護技術服務。

2019年下半年度全鑫將增加斜進式外圓磨床與全液靜壓轉臺平面磨床， 以提供更多元的產(chǎn)品服務來滿足客戶更多高端需求。 ???????

全鑫精密獨步亞洲 運用液靜壓技術增進效能

全鑫精密工業(yè)股份有限公司(Grintimate)以獨有的液靜壓技術，針對高效率與高精度汽車工 業(yè)研發(fā)，并推出亞洲唯一「液靜壓寬砂輪外圓專用磨床」CTS與CDC系列，不但為其大幅提 升3倍以上加工效率，更有效節(jié)省人力、機臺占地面積及加工時間。

雙管齊下　大幅提升加工效率

全鑫精密運用液靜壓軸承主軸高剛性、無 振動及無磨耗特色，將承載砂輪尺寸提升至 300mm寬。操作介面的設計為了符合人人 都可以成為研磨專員，以減低客戶人才需求 成本，全鑫更研發(fā)出簡易操作的圖形對話式 人機介面，操作人員可直接用數(shù)字輸入完成15段內(nèi)不同階差的成型研磨。

成型研磨系指 將砂輪修整成符合工件欲研磨的形狀，進行 一次性地進刀研磨，加工時，能節(jié)省更換機 臺上下料的時間及更換機臺所導致的精度誤 差，提升研磨效率。

為達成高精度研磨，透過獨家專利液靜 壓技術，采用X軸液靜壓滑軌，提高軌道使 用壽命，無摩擦不會產(chǎn)生stick-slip，并可 確保成型修砂的尺寸穩(wěn)定度及提升高效率 與高精度的表現(xiàn)。運用先進液靜壓潤滑／ 冷卻系統(tǒng)和流量控制器保持磨削品質(zhì)，穩(wěn) 定壓力，搭載標配的海德漢全閉回路光學 尺，確保進給精確性和定位精度，加上主 軸高阻尼特性，可以吸收磨削動能，進而保證高精密度的磨削表現(xiàn)。

特別是CTS機型，該機型采用雙端面驅動 頂針，并可結合機器手臂運作，在量產(chǎn)環(huán)境 下只要45秒，即可完成工件加工研磨，除真 圓度與圓筒度可維持在2μm內(nèi)，效率更是大 幅提升。值得一提的是，全鑫精密的機臺皆 已模組化，并搭配高規(guī)格配件，可滿足客戶 對產(chǎn)品精密度的要求。

持續(xù)研發(fā)創(chuàng)新　提供完善解決方案???????

全鑫精密是高精密磨床領先設計者和專 業(yè)制造商，擁有液靜壓軸承技術，獨家開 發(fā)的液靜壓軸承主軸、靜壓旋轉工作臺及 靜壓滑軌模組，全鑫精密致力于產(chǎn)業(yè)最佳 液靜壓磨削及最完善次微米加工方案，為 制造出歐洲品質(zhì)臺灣價格的高精密磨床所 努力，提供客戶更全面、更完整的turn-key 解決方案，及完善的定期保養(yǎng)和維護技術 服務。

全鑫精密經(jīng)營理念為，提供高精度、高品質(zhì)、低耗損、綠環(huán)保的精密加工機，協(xié)助客 戶提高效率與品質(zhì)并提升市場競爭力，創(chuàng)造 獨特性價值與高效率，提供最佳解決方案， 是全鑫精密專注研發(fā)創(chuàng)新的最高宗旨。 2019 年下半年度將增加斜進式外圓磨床與全液靜 壓轉臺平面磨床，以提供更多元的產(chǎn)品服務 更多高端需求的客戶！ ???????

全鑫液靜壓寬砂輪外圓磨床 研磨利器

全鑫精密以獨有的液靜壓技術，針對高效率與高精度汽車工業(yè)研發(fā)推出亞洲唯一「液靜壓寬砂輪外圓專用磨床」CTS與CDC系列，能大幅提升3倍以上加工效率，更有效節(jié)省人力，是產(chǎn)業(yè)研磨的最佳利器。

全鑫精密副總經(jīng)理蔡靜儀表示，該機采用液靜壓軸承主軸，具高剛性、無振動及無磨耗特色，將承載砂輪尺寸提升至300mm寬，簡易操作的圖形對話式人機介面，方便操作人員可直接用數(shù)字輸入完成15段內(nèi)不同階差的成型研磨，以減低客戶研磨人才需求的成本。

成型研磨是指將砂輪修整成符合工件欲研磨的形狀，進行一次性地進刀研磨，加工時，能節(jié)省更換機臺上下料的時間及更換機臺所導致的精度誤差，有效提升研磨效率。 為達成高精度研磨，透過獨家專利液靜壓技術，采用X軸液靜壓滑軌，提高軌道使用壽命，無摩擦不會產(chǎn)生stick-slip，并可確保成型修砂的尺寸穩(wěn)定度及提升高效率與高精度的表現(xiàn)。

運用先進液靜壓潤滑／冷卻系統(tǒng)和流量控制器保持磨削品質(zhì)，穩(wěn)定壓力，搭載標配的海德漢全閉回路光學尺，確保進給精確性和定位精度，加上主軸高阻尼特性，可吸收磨削動能，進而保證高精密度的磨削表現(xiàn)。

另，該機采用雙端面驅動頂針，可結合機器手臂運作，在量產(chǎn)環(huán)境下只要45秒，即可完成工件加工研磨，除真圓度與圓筒度可維持在2μm內(nèi)，效率大幅提升。全鑫精密機臺皆已模組化，并搭配高規(guī)格配件，可滿足客戶對產(chǎn)品精密度的要求。

蔡靜儀說，全鑫精密是高精密磨床領先設計者和專業(yè)制造廠，擁有液靜壓軸承技術，獨家開發(fā)的液靜壓軸承主軸、靜壓旋轉工作臺及靜壓滑軌模組，更致力于提供產(chǎn)業(yè)最佳液靜壓磨削及最完善次微米加工方案，制造出歐洲品質(zhì)、臺灣價格的高精密磨床，提供客戶更全面、更完整的turn-key解決方案，及完善的定期保養(yǎng)和維護技術服務。

2019年下半年度全鑫將增加斜進式外圓磨床與全液靜壓轉臺平面磨床， 以提供更多元的產(chǎn)品服務來滿足客戶更多高端設備需求。