臺灣精品獎加冕 全鑫精密液靜壓轉(zhuǎn)臺平面磨床SEMICON Taiwan亮相
全鑫精密－高精密液靜壓磨床專業(yè)制造商，擁有獨(dú)家液靜壓軸承技術(shù)，先進(jìn)開發(fā)之液靜壓軸承主軸、液靜壓旋轉(zhuǎn)工作臺及液靜壓滑軌模組，產(chǎn)品皆搭載液靜壓軸承系統(tǒng)，提供高精度、高品質(zhì)、低耗損、綠環(huán)保的精密加工機(jī)。
先前推出全亞洲唯一「寬砂輪液靜壓外圓磨床」CTS-100，最大特點(diǎn)為可承載300寬砂輪配合圖形對話程式可完成15段不同階差的成形研磨，該機(jī)也獲2020臺灣精品獎殊榮。
全鑫精密副總經(jīng)理蔡靜儀表示，全鑫擁有強(qiáng)大的研發(fā)能量，開發(fā)腳步不會因此而停滯；為提供客戶更多的高精密磨床選擇，全鑫精密于2019年推出的全液靜壓臥式轉(zhuǎn)臺平面磨床(GRC系列)，是專為加工精密硬脆材質(zhì)而生的高精密磨床，以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為例，在晶圓周邊產(chǎn)品研磨應(yīng)用如陶瓷載具、矽盤、石英等，全鑫研制的轉(zhuǎn)臺磨床相對比傳統(tǒng)往復(fù)式磨床效率高達(dá)2倍以上，且靜壓主軸及轉(zhuǎn)臺具超高剛性、高吸振能力以及無磨擦黏滯等特性，可承受偏心與高離心力加工，主軸及工作臺旋轉(zhuǎn)精度皆小于1μm，轉(zhuǎn)臺負(fù)重達(dá)10,000KG，同時也具備了高穩(wěn)定性以及高壽命的特性，可以大幅減少維修成本以及提高機(jī)臺運(yùn)作穩(wěn)定性。
GRC設(shè)計時在外觀上采用圓柱型板金設(shè)計，為提供油霧回收機(jī)使用時的最佳吸取效能，以達(dá)到綠能環(huán)保。在機(jī)臺的軟體采用Mitsubishi及Fanuc觸控式面板及人機(jī)圖形對話式介面，在軟體開發(fā)上更符合視覺式反應(yīng)的簡易操作，可有效加快操作者熟悉機(jī)臺的速度，擺脫傳統(tǒng)調(diào)整轉(zhuǎn)臺機(jī)構(gòu)才能達(dá)到研磨中凸中凹的效果。在軟體的精算補(bǔ)正與線軌微進(jìn)給精度的規(guī)劃，可以直接在程式輸入達(dá)成研磨后的需求，此功能在于相異材質(zhì)結(jié)合的工件研磨或半導(dǎo)體業(yè)的陶瓷載具研磨上有很好的輔助成效且大大減少時間成本。
全鑫GRC除了克服傳動件主軸與轉(zhuǎn)臺的振動外，底座與動柱的變形也是一大關(guān)鍵，GRC采用門型結(jié)構(gòu)設(shè)計，優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)剛性比單柱式佳，主軸頭采用三角大跨距設(shè)計，抗下壓研磨反作用力極佳，穩(wěn)定性相對提升，與臺灣現(xiàn)有轉(zhuǎn)臺單薄或細(xì)長之主軸頭設(shè)計有很大區(qū)隔化。
另外，最大優(yōu)勢在于Y軸軌面與工作臺面等高設(shè)計，更提升前后運(yùn)動精度，降低傾斜或變形的缺點(diǎn)；整機(jī)采人體工學(xué)進(jìn)行規(guī)劃設(shè)計，提升操作人員作業(yè)品質(zhì)。簡易的臺面角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，可進(jìn)行快速調(diào)整。為增加軌道使用壽命，在軌道位置設(shè)計置于切削污染區(qū)之外，提升優(yōu)異的防護(hù)與清潔效率。整機(jī)采用鎧甲式護(hù)蓋，提升切削液與安全防護(hù)等級，改善升縮卷簾護(hù)罩易破損且無剛性防護(hù)能力的缺點(diǎn)。 Y/Z軸采用直結(jié)式驅(qū)動設(shè)計，減少組合公差并提升精度控制能力。