臺(tái)灣精品獎(jiǎng)加冕-全鑫精密液靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)平面磨床SEMICON Taiwan亮相
全鑫精密－高精密液靜壓磨床專業(yè)製造商，擁有獨(dú)家液靜壓軸承技術(shù)，先進(jìn)開發(fā)之液靜壓軸承主軸、液靜壓旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)及液靜壓滑軌模組，產(chǎn)品皆搭載液靜壓軸承系統(tǒng)，提供高精度、高品質(zhì)、低耗損、綠環(huán)保的精密加工機(jī)。
先前推出全亞洲唯一「寬砂輪液靜壓外圓磨床」CTS-100，最大特點(diǎn)為可承載300寬砂輪配合圖形對(duì)話程式可完成15段不同階差的成形研磨，該機(jī)也獲2020臺(tái)灣精品獎(jiǎng)殊榮。
全鑫精密副總經(jīng)理蔡靜儀表示，全鑫擁有強(qiáng)大的研發(fā)能量，開發(fā)腳步不會(huì)因此而停滯；為提供客戶更多的高精密磨床選擇，全鑫精密於2019年推出的全液靜壓臥式轉(zhuǎn)臺(tái)平面磨床(GRC系列)，是專為加工精密硬脆材質(zhì)而生的高精密磨床，以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為例，在晶圓周邊產(chǎn)品研磨應(yīng)用如陶瓷載具、矽盤、石英等，全鑫研製的轉(zhuǎn)臺(tái)磨床相對(duì)比傳統(tǒng)往復(fù)式磨床效率高達(dá)2倍以上，且靜壓主軸及轉(zhuǎn)臺(tái)具超高剛性、高吸振能力以及無磨擦黏滯等特性，可承受偏心與高離心力加工，主軸及工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)精度皆小於1μm，轉(zhuǎn)臺(tái)負(fù)重達(dá)10,000KG，同時(shí)也具備了高穩(wěn)定性以及高壽命的特性，可以大幅減少維修成本以及提高機(jī)臺(tái)運(yùn)作穩(wěn)定性。
GRC設(shè)計(jì)時(shí)在外觀上採(cǎi)用圓柱型板金設(shè)計(jì)，為提供油霧回收機(jī)使用時(shí)的最佳吸取效能，以達(dá)到綠能環(huán)保。在機(jī)臺(tái)的軟體採(cǎi)用Mitsubishi及Fanuc觸控式面板及人機(jī)圖形對(duì)話式介面，在軟體開發(fā)上更符合視覺式反應(yīng)的簡(jiǎn)易操作，可有效加快操作者熟悉機(jī)臺(tái)的速度，擺脫傳統(tǒng)調(diào)整轉(zhuǎn)臺(tái)機(jī)構(gòu)才能達(dá)到研磨中凸中凹的效果。在軟體的精算補(bǔ)正與線軌微進(jìn)給精度的規(guī)劃，可以直接在程式輸入達(dá)成研磨後的需求，此功能在於相異材質(zhì)結(jié)合的工件研磨或半導(dǎo)體業(yè)的陶瓷載具研磨上有很好的輔助成效且大大減少時(shí)間成本。
全鑫GRC除了克服傳動(dòng)件主軸與轉(zhuǎn)臺(tái)的振動(dòng)外，底座與動(dòng)柱的變形也是一大關(guān)鍵，GRC採(cǎi)用門型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，優(yōu)點(diǎn)在於結(jié)構(gòu)剛性比單柱式佳，主軸頭採(cǎi)用三角大跨距設(shè)計(jì)，抗下壓研磨反作用力極佳，穩(wěn)定性相對(duì)提升，與臺(tái)灣現(xiàn)有轉(zhuǎn)臺(tái)單薄或細(xì)長(zhǎng)之主軸頭設(shè)計(jì)有很大區(qū)隔化。
另外，最大優(yōu)勢(shì)在於Y軸軌面與工作臺(tái)面等高設(shè)計(jì)，更提升前後運(yùn)動(dòng)精度，降低傾斜或變形的缺點(diǎn)；整機(jī)採(cǎi)人體工學(xué)進(jìn)行規(guī)劃設(shè)計(jì)，提升操作人員作業(yè)品質(zhì)。簡(jiǎn)易的檯面角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，可進(jìn)行快速調(diào)整。為增加軌道使用壽命，在軌道位置設(shè)計(jì)置於切削汙染區(qū)之外，提升優(yōu)異的防護(hù)與清潔效率。整機(jī)採(cǎi)用鎧甲式護(hù)蓋，提升切削液與安全防護(hù)等級(jí)，改善升縮捲簾護(hù)罩易破損且無剛性防護(hù)能力的缺點(diǎn)。Y/Z軸採(cǎi)用直結(jié)式驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)，減少組合公差並提升精度控制能力。
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